Atal Rhyfela Wafferi a Straen Thermol Wrth Gynhesu Lled-ddargludydd

Atal Rhyfela Wafferi a Straen Thermol Wrth Gynhesu Lled-ddargludydd
Mae newidiadau tymheredd cyflym yn achosi straen mecanyddol, a all achosi cracio ffilm tenau, llinellau llithro, a warping wafferi. Mae cywirdeb troshaenau a chynnyrch yn cael eu lleihau pan fydd wafer lled-ddargludyddion yn cael ei gynhesu'n anwastad neu wedi'i rampio'n rhy rymus oherwydd bod y bwa neu'r ystof canlyniadol yn parhau trwy brosesau lithograffi ac ysgythru pellach. Felly, mae rheoli cyfradd newid tymheredd a homogenedd gofodol y mewnbwn gwres yn troi'n brif gyfyngiad y broses.
Trwy ganiatáu ar gyfer gwresogi'r platen neu'r chuck cynhaliol wedi'i reoleiddio, mae gwresogyddion cetris yn helpu i leihau straen. Mae'n bosibl cyfateb tymheredd ymyl a chanol fel bod y waffer yn profi cynnydd tymheredd sydd bron yn gydamserol pan fydd gwresogyddion cetris lluosog yn cael eu gwasgaru ar draws y màs thermol a'u pweru gan ddolenni PID ar wahân. Mae màs thermol isel gwresogydd cetris yn dileu'r gor-saethu enfawr sy'n achosi ehangiad gwahaniaethol ar draws diamedr y wafer, gan alluogi'r ddyfais i ddilyn ramp wedi'i raglennu.
Mae straen yn cael ei ddylanwadu'n uniongyrchol gan y dewis o ddwysedd wat. Ar gyfer llwythi metel arferol, mae dwyseddau a gynhelir rhwng 5 a 7 W/cm² yn cynnig digon o egni ar gyfer cyfnodau beicio realistig tra'n osgoi'r tymereddau lleol uchel sy'n arwain at fannau poeth. Mae'r bylchau aer a fyddai fel arfer yn achosi i wresogyddion unigol weithredu'n boethach na'u cymdogion - gan gyflwyno'r union raddiannau y mae'r cynllun aml-barth i fod i'w llethu - yn cael eu dileu gan ffit turio tynn. Gellir addasu pŵer cyn i dymheredd yr arwyneb wyro oddi wrth y proffil a ddymunir diolch i thermocyplau integredig sy'n darparu data gwain amser real i'r rheolydd.
Mae sefydlogrwydd hirdymor yn ystod cylchoedd gwres niferus yn cael ei gefnogi ymhellach gan ddetholiad selio a deunydd. Trwy filoedd o rampiau, mae aloion gwain a ddewiswyd oherwydd eu cryfder cyn lleied â phosibl o nwyon a thymheredd uchel yn cadw eu cyfanrwydd mecanyddol. Mae'r inswleiddiad mewnol yn cael ei gysgodi gan seliau hermetig yn erbyn y lleithder cronedig a fyddai fel arall yn treiddio i mewn yn ystod amseroedd oeri ac yn ehangu yn ystod y cylch gwres dilynol. Mae'r straen mecanyddol sy'n deillio o addasiadau aml, bach o allbwn gwresogyddion yn cael ei leihau gan newid pŵer cyflwr solet.
Mae p'un a gyflawnir y gostyngiad straen bwriedig yn dibynnu ar fanylion y gosodiad. Mae bwa waffer yn ganlyniad i anomaleddau tymheredd lleol a achosir gan dyllau mowntio rhy fawr, amhureddau gweddilliol, neu fewnosodiad rhannol o'r hyd wedi'i gynhesu. Mae'r gweithdrefnau sylfaenol sy'n cynnal perfformiad thermol cyson trwy gydol oes yr offeryn yn cynnwys glanhau cyn gosod, gwirio ffit, a phrofi ymwrthedd inswleiddio.
Mae ystumiad mecanyddol yn aros o fewn goddefiannau proses pan gaiff lled-ddargludydd ei gynhesu o dan amodau sy'n cyfyngu ar raddiannau cyfradd a gofodol. Mae dylunio cyfluniad, dwysedd, a phensaernïaeth rheoli'r gwresogydd gydag anghenion màs thermol a ramp y chuck neu platen penodol mewn golwg yn hanfodol. Er mwyn cadw straen a warpage o fewn terfynau rhesymol, mae gwahanol feintiau wafferi, deunyddiau chuck, a ryseitiau proses yn gofyn am ddyluniadau gwresogydd cetris wedi'u haddasu'n gyfatebol.